
簡單介紹
MOCVD機發熱體外環可用純鎢或鎢合金制作。 MOCVD機發熱體外環的使用環境對材料的純度、抗蠕變性能均有較高要求。
產品描述
金屬有機物化學氣相淀積(簡稱MOCVD)是技術生長III-V族,II-VI族化合物及合金的薄層單晶的主要方法。用氫氣或氮氣作為載氣,通入液體中攜帶出蒸汽,與V族的氫化物(如NH3、PH3、AsH3)混合,通入反應室,在加熱的襯底表面發生反應,外延生長化合物晶體薄膜。
LED的發光核心是一種稱為外延片(Epitaxial Slice)的復合材料,由于Mocvd技術在外延片上的成功運用,使得此種設備使用量迅速增加。
由于MOCVD設備工作時工作溫度高于2000℃,鎢及其合金也是該設備發熱體外環等部分組件的優選材料。
早期MOCVD設備發熱體外環由錸或鎢錸合金等材料制成,隨著此種設備的普及,出于降低成本要求,純鎢及鎢和一些稀土元素的合金材質制成的發熱體外環逐步被用戶接受。
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